CDK 280 UHV分子涡轮泵（ILMVAC）是德国伊尔姆公司新型的组合式分子泵，能产生5×10-7mbar以上的真空度，同时具有使用简单可靠的特点，被世界各地的用户广泛使用。它的主要特点如下：
· 前泵与分子泵合为一体，不需要再另接前泵。
· 前泵采用干式运行的隔膜泵，使整套CDK设备免维护，干式运行，体积小，重量轻。
· 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵，不需要附加装置和人为控制，前泵与分子泵的配合完全自动化。
· 配有给容器充气的充气开关。
· 当达到一定的真空压力后，可选择自动关闭前泵，以节省电源，增加设备的使用寿命。
· 采用自动空气冷却。
· 结构特别紧凑，性能可靠。
· 操作特别简单，只用一个总开关便可开关涡轮分子泵组。